Aibo III Dry Asher

Conceptual Design。3D Layout Rendering。Aibo III Dry Asher 為 12" / 300 mm 概念設計，可顯示 EFEM、FOUP 1 / 2 / 3、Load Lock、Transfer Chamber、Vacuum Robot、PM1 / PM2 / PM3、ICP 13.56 MHz、RF 700–5000 W、Temperature 100–270°C。Restricted engineering documents are not published.

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