Aspen2 設備升級

Aspen2 Upgrade 包含控制系統、Robot and Motion Upgrade、RF and Vacuum Upgrade、SECS/GEM and Fab Integration、Obsolete Parts Replacement 與 Magnetic Scale Closed Loop。公開頁不揭露 5-step threshold、driver parameter、I/O map 或 wiring。

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如需進一步確認設備、零件、製程應用或服務需求，請提供設備型號、應用條件與目前目標，瀚鈞將依資料進行工程評估。