技術
瀚鈞整合 ICP 電漿、RF 功率傳輸、真空與壓力控制、設備自動化及廠務通訊技術,用於乾式去膠平台與設備升級應用。實際配置需依設備版本與製程需求審查。
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如需進一步確認設備、零件、製程應用或服務需求,請提供設備型號、應用條件與目前目標,瀚鈞將依資料進行工程評估。
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