製程應用

Aibo Dry Asher 平台可依應用需求支援光阻去除、De-scum、Lite Etch、殘留物去除與電漿清潔。應用細節與製程參數需依晶圓結構、材料堆疊與專案條件審查。

相關諮詢

如需進一步確認設備、零件、製程應用或服務需求，請提供設備型號、應用條件與目前目標，瀚鈞將依資料進行工程評估。