Aibo Dry Asher 系列
Aibo Dry Asher 系列支援光阻去除、去殘膠、輕微蝕刻與電漿清潔等半導體製程應用。平台選型需依晶圓尺寸、腔體配置、產能需求與廠務整合條件進行工程審查。
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如需進一步確認設備、零件、製程應用或服務需求,請提供設備型號、應用條件與目前目標,瀚鈞將依資料進行工程評估。
Aibo Dry Asher 系列支援光阻去除、去殘膠、輕微蝕刻與電漿清潔等半導體製程應用。平台選型需依晶圓尺寸、腔體配置、產能需求與廠務整合條件進行工程審查。
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