瀚钧创新

瀚钧创新涵盖 RF Splitter、AIC1201、RF Matching Network、MDV-018、Obsolete Parts Replacement，以及 RF Power Distribution Technology、Heat Recovery Wafer Processing Equipment、In-house Plasma Equipment Innovation、Wafer Cooling Transfer Platform。Patent Number ZL 2023 2 0662780.0；Publication CN 219370997 U；Grant Date 2023-07-18。

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